切克劳斯基极富创意的失误：通往千兆纪元路上的里程碑

切克劳斯基极富创意的失误：通往千兆纪元路上的里程碑

JÜrgen Evers，* Peter KlÜfers， Rudolf Staudigl，* and Peter Stallhofer

    摘要：工业领域、科学领域和社会领域中许多剧变，要归因于于微电子工业的日新月异的发展。这一发展已影响到人们的日常生活，你只需看看各种手机和信用卡上的芯片就能意识到这点。微电子工业的原料，是高纯度的、具有几乎完美晶体结构的单晶硅。目前世界上95%的单晶硅的生产工艺沿用了1916年切克劳斯基创建的工艺。现在的单晶硅可以生长到2m长，直径可达300mm，重达265kg。磁场的应用给晶体生长技术带来了显著的进步。进一步的研究表明，除了保证晶体直径不断增长的技术之外，缺陷预测，以及对于晶体缺陷中众多基于温度的反应的控制，极富重要性。

关键词：晶体生长，切克劳斯基，缺陷预测，微电子，晶体硅