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切克劳斯基极富创意的失误:通往千兆纪元路上的里程碑

原文作者:
  
发布时间:
  2015-03-31
来    源:
  www.cntech.com
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切克劳斯基极富创意的失误:通往千兆纪元路上的里程碑

JÜrgen Evers,* Peter KlÜfers, Rudolf Staudigl,* and Peter Stallhofer

 

    摘要:工业领域、科学领域和社会领域中许多剧变,要归因于于微电子工业的日新月异的发展。这一发展已影响到人们的日常生活,你只需看看各种手机和信用卡上的芯片就能意识到这点。微电子工业的原料,是高纯度的、具有几乎完美晶体结构的单晶硅。目前世界上95%的单晶硅的生产工艺沿用了1916年切克劳斯基创建的工艺。现在的单晶硅可以生长到2m长,直径可达300mm,重达265kg。磁场的应用给晶体生长技术带来了显著的进步。进一步的研究表明,除了保证晶体直径不断增长的技术之外,缺陷预测,以及对于晶体缺陷中众多基于温度的反应的控制,极富重要性。

关键词:晶体生长,切克劳斯基,缺陷预测,微电子,晶体硅